Historical World Fab Report (2012 - 2023) StdDcs-Withdrawn - Historical 装置のユーザは，ユーザの入力に依存せずに装置性能をトラッキングし，ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に起因する不正確さをなくす必要がある。ユーザ入力なしで装置性能をトラッキングすることは，運転のシナリオにおいて手動介入を最小限にする必要がある300 mmウェーハの工場では重要である。EPTは，ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の性能をトラッキングするために必要な装置データを取得できるようにする概念，動作，メッセージサービスを定義する。

装置のユーザは，ユーザの入力に依存せずに装置性能をトラッキングし，ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に起因する不正確さをなくす必要がある。ユーザ入力なしで装置性能をトラッキングすることは，運転のシナリオにおいて手動介入を最小限にする必要がある300 mmウェーハの工場では重要である。EPTは，ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の性能をトラッキングするために必要な装置データを取得できるようにする概念，動作，メッセージサービスを定義する。

OHT）系統。

Flat Panel Display Global Technical Committeeで技術的に承認されたもので，Japanese FPD Materials and Components Committeeが直接責任を負うものである。現版は，2003年4月28日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。2003年6月にまずwww

SEMI PV86-0223 (technical revision)

Historical World Fab Report (2012 - 2023) StdDcs-Withdrawn - Historical 装置のユーザは，ユーザの入力に依存せずに装置性能をトラッキングし，ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に起因する不正確さをなくす必要がある。ユーザ入力なしで装置性能をトラッキングすることは，運転のシナリオにおいて手動介入を最小限にする必要がある300 mmウェーハの工場では重要である。EPTは，ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の性能をトラッキングするために必要な装置データを取得できるようにする概念，動作，メッセージサービスを定義する。